再生水,也能做出晶片?
半導體對水質的要求近乎苛刻。台積電形容,先進製程所需的超純水潔淨程度,等同於1,000座奧運標準泳池裡只能有1c.c.雜質,足見讓再生水進入半導體製程,是極大的技術挑戰。
自2015年起,台積電建置模擬再生產線反覆測試,並與工研院、供應鏈夥伴及學界協力,優化廢水再生流程。2022年「台積電南科再生水廠」正式通水,成為全球將工業再生水應用於先進半導體製程的首例。
為了確保晶片良率,台積電發起總動員,每一個廠投入近千位同仁進行嚴格驗證把關,歷經無數次調整與分析,從成熟製程廠區為導入起點,2024年終於成功將再生水導入5奈米與3奈米先進製程,捍衛產品品質與技術領先地位,成就產業重要的綠色創新里程碑。

「台積電南科再生水廠」領先全球,成功將工業再生水回用至半導體先進製程。